項(xiàng)目

RA16

RA160

旋轉(zhuǎn)工作臺

軸承類型

氣浮/摩擦

旋轉(zhuǎn)精度

（0.025+6H/10000）μm/（0.06+4H/10000）μm

旋轉(zhuǎn)速度

6rpm

工作臺有效直徑

180mm

大工件直徑（回轉(zhuǎn)直徑）

420mm

480mm

大測量直徑

250mm

270mm

臺面大承量

15kg/10kg

垂直軸（Z軸）

垂直移動

320mm

420mm

垂直移動方式

電動

大檢測高度（離旋轉(zhuǎn)工作臺）

150mm

165mm

大檢測深度

25mm

水平臂（R軸）

水平移動

150mm

165mm

突出量

25mm

水平移動方式

手動

檢測器

采集器件

圓光柵

圓周采樣點(diǎn)數(shù)

4096點(diǎn)

8192點(diǎn)

傳感器類型

電感傳感器

傳感器量程

±300μm

傳感器分辨率

高0.001μm